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    HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉(zhuǎn)移系統(tǒng) 關(guān)鍵詞:二維材料,干法,濕法,范德華 適用于石墨烯,硫化鉬,黑磷等單層材料精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移,以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備。 由于在制備多層異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的二維半導(dǎo)體材料晶體管的過(guò)程中,需要將一層二維材料轉(zhuǎn)移到另一層二維材料上。在常規(guī)的大氣環(huán)境中進(jìn)行轉(zhuǎn)移操作時(shí),難免會(huì)遇到轉(zhuǎn)移后兩層材料中含有少量氣泡的問(wèn)題;并且,某些二維材料會(huì)受到空氣中水和氧的影響,使得材料

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